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产品名称：试剂级氢氟酸
英文名称：Hydrofluoric acid
CAS号：7664-39-3
分子式：HF
分子量：20.01
性质：无色透明发烟液体，具有强烈刺激性气味。
用途：用于半导体元件制造、玻璃刻蚀等。
包装：槽车或塑料桶包装。
执行标准：国家标准 GB/T 620-2011
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名称 |
优级纯 |
分析纯 |
化学纯 |
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含量(HF),ω/% |
≥40.0 |
≥40.0 |
≥40.0 |
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灼烧残渣（以硫酸盐计）,ω/% |
≤0.001 |
≤0.002 |
≤0.01 |
|
氯化物(Cl),ω/% |
≤0.0005 |
≤0.001 |
≤0.005 |
|
硫酸盐和亚硫酸盐(以SO4计),ω/% |
≤0.001 |
≤0.002 |
≤0.005 |
|
磷酸盐(PO4),ω/% |
≤0.0001 |
≤0.0002 |
≤0.0005 |
|
氟硅酸盐(SiF6),ω/% |
≤0.02 |
≤0.04 |
≤0.06 |
|
铁(Fe),ω/% |
≤0.00005 |
≤0.0001 |
≤0.0005 |
|
重金属(以Pb计),ω/% |
≤0.0001 |
≤0.0005 |
≤0.001 |
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