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产品名称：工业高纯氢氟酸
英文名称：Hydrofluoric acid
CAS号：7664-39-3
分子式：HF
分子量：20.01
外观：无色透明液体。
用途：主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
包装：槽车或塑料桶包装。
执行标准：HG/T 4509-2013
| 项目 | 指标 | ||||
| EL级 | UP级 | UP-S级 | UP-SS级 | ||
| 总酸度(以HF计)ω/% | 49.0±0.5 | 49.0±0.5 | 49.0±0.5 | 49.0±0.5 | |
| 氟硅酸(H2SiF6)ω/(mg/kg)≤ | 50 | 50 | 30 | 30 | |
| 氯化物（以Cl-计)ω/(mg/kg)≤ | 5 | 5 | 0.2 | 0.05 | |
| 硝酸盐(以NO3-计)ω/(mg/kg)≤ | 3 | 3 | 0.1 | 0.05 | |
| 磷酸盐(以PO43-计)ω/(mg/kg)≤ | 1 | 1 | 0.1 | 0.05 | |
| 硫酸盐(以SO42-计)ω/(mg/kg)≤ | 5 | 5 | 0.2 | 0.05 | |
| 铝(Al)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 砷(As)ω/(μg/kg)≤ | 200 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 硼(B)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 钡(Ba)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 钙(Ca)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 镉(Cd)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 铬(Cr)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 铜(Cu)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 铁(Fe)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 钾(K)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 锂(Li)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 镁(Mg)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 锰(Mn)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 钠(Na)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 镍(Ni)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 铅(Pb)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 钛(Ti)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 锑(Sb)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 锡(Sn)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 锌(Zn)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 颗粒 | (≥1.0μm)/(个/mL)≤ | 25 | |||
| (≥0.5μm)/(个/mL)≤ | 25 | 5 | |||
| (≥0.2μm)/(个/mL)≤ | 20 | ||||
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